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설비현황

KEYENCE 3D 형상 측정 현미경

품명 VK - X110 (3D 형상 측정 레이저 마이크로스코프)
ㆍ200X - 24000X 배율
ㆍ0.5 nm Z축 고분해능
ㆍ고해상도, 깊은 피사계 심도 관찰
ㆍ전 처리가 필요 없이 프로파일과 조도 측정
ㆍ투명 층의 두께 및 균일성 측정